ピエゾアシストモータ
ピエゾアシストモータ
- ピエゾアシストモータとは大変位(ロングストローク)かつ高分解能、高推力を出力できるモータです。
- PAM3-6.5及びPAM6-13の出力推力はそれぞれ13N及び29Nです。一方、PAM3-6.5及びPAM6-13の変位量はそれぞれ6.5㎜と13㎜で,分解能はそれぞれ30nm及び25nm以下です。
- 名刺サイズ以下で小型であるため、簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。
- 科学研究及び工業用途のために、設計されたモータであり、下記の用途に適しています。
- 顕微鏡のスキャニング
- 高速スループット顕微鏡
- 高分解能顕微鏡
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 干渉計形状測定
- マスク/ウエハー位置決め
- 計測技術
- ミラーホルダー角度調整
- 駆動するには、専用のコントローラ(PAMC-104)および専用ソフトをご使用ください。また、専用ケーブル(2m)を付属されています。
*「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です。
駆動例(参考)
※ 駆動をわかりやすくするため、超高速で再生しています。
PAM3-6.5 (荷重1.5kg 約100倍速)
PAM6-13 (荷重3kg 約1,000倍速)
品名 | 価格 [円] (税込) |
|
---|---|---|
PAM3-6.5 | ピエゾアシストモータ, 移動量 6.5mm, 最小移動量 30nm, 取り付け部 φ6シャンク | 88,000 |
PAM6-13 | ピエゾアシストモータ, 移動量 13mm, 最小移動量 25nm, 取り付け部 φ95シャンク | 77,000 |
PAMC-104 | ピエゾアシストモータコントローラ, 4軸, RS232C通信 | 132,000 |
PAMC-100 | ピエゾアシストモータコントローラ (リモコン) | 55,000 |
PAMC4-485 | ピエゾアシストモータコントローラ, 4軸, RS485通信 | 132,000 |
ピエゾアシストモータの動作原理
ピエゾアシストモータは、ハウジング内のピエゾ慣性回転機構によりネジ軸を回転し、ネジ軸方向に推力と変位を発生します。
図2のピエゾ慣性回転機構原理図に於いて、回転子はネジ軸と一体で慣性モーメント(回転ノブなど)に接続されており、回転子と 接触子間には所要の静摩擦力を持たせる様に圧力(非表示)が印加されています。図2のように圧電素子が伸びると、接触子A,Bは図2 のように相対動作します。この接触子A,Bの相対動作の加速度によって慣性モーメントに生じる回転運動の加速度による発生力が、回転子 と接触子間の静摩擦力以下である場合には、回転子は回転運動を起こし、静摩擦力以上である場合には、回転子と接触子間にはすべりを生じます。
外形図(単位:mm)
PAM3-6.5
PAM6-13
専用ケーブル(2m)
仕様
品名 | PAM3-6.5 | PAM6-13 |
---|---|---|
最小移動量 (nm) | 30以下 | 25以下 |
最大耐荷重(N) | 13以上 | 29.4以上 |
最大駆動周波数(kHz) | 2 | 2 |
最大速度(mm/min) | 1.5 | 1.5 |
粗動移動量(mm) | 6.5以上(最大9) | 13以上(最大18) |
取り付け部(mm) | φ6シャンク | M9x0.5ネジ |
寸法(mm) | 41x21.6x8.2 | 61x31x15.1 |
動作温度 | 0~40℃ | 0~40℃ |
保存温度 | 0~40℃ | 0~40℃ |
周囲湿度 | 10~80%RH(結露なきこと) | 10~80%RH(結露なきこと) |
コネクタ | SMBコネクタ | SMBコネクタ |
寿命 | 1x109パルス以上 | 1x109パルス以上 |
質量(kg) | 0.02 | 0.05 |
価格(円) | 88,000 | 77,000 |
User manual | Download | Download |
用途
(PAM6-13の応用例)ステージ(40x40□、60x60□)に取り付ける。
- 顕微鏡のスキャニング
- 高速スループット顕微鏡
- 高分解能顕微鏡
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 干渉計形状測定
- マスク/ウエハー位置決め<
- 計測技術
- ミラーホルダー角度調整
ピエゾアシストモータの動作事例
図1、図2は、この装置を用いて、駆動周波数1Hz及び5Hzで40パルス駆動したときの
変位vs時間特性です。図1は正回転、図2は逆回転の
場合です。
- 1Hzでは、10~16nm/pulseの階段状変位になり、5Hzでは滑らかに変位しています。
- 40パルスに対する変位量は、1Hz 5Hzともに、正回転では 480nm(平均 12nm/pulse、逆回転では 520nm(平均 13nm/pulse)になっています。
- ナノメートル単位の超精細な分解能
- 電源無供給でも位置を保持
- 可動角度範囲は±3.5°(≒ ± 61mrad )
- 1.6 μrad ずつ超精細に調整可能(7万段階以上)
ピエゾアシストモータの応用例(ミラーホルダー角度調整)
駆動実験動画(参考)
注意事項
- アクチュエータ本体の追従性向上のため、適度な荷重(3N以上推奨)を設定してください。
- 本製品は、個体差、アクチュエータの送り方向により速度・最小移動量にバラつきが生じます。予めご了承ください。
- ご所有の手動ステージと組合せをする場合には、別途承ります。お問合せください。
組み合わせの仕様によっては、追加工や改造が必要になる場合があります。組付け依頼と合わせてご確認ください。 - 本製品を駆動するには、専用コントローラ(PAMC-104)をご使用ください。
ピエゾアシストモータコントローラ(PAMC-104)
- ピエゾアシストモータコントローラとは、ピエゾアシストモータを駆動する専用コントローラです。
- 本商品は、RS-232Cを介したPC操作からリモート操作が可能である。マニュアル操作の場合、PAM-RC100と接続してご利用ください。
- 駆動するには、専用ケーブルをご使用ください。
外形図(単位:mm)
PAMC-104
PAMC4-485
PAM-RC100(別売り品)
仕様
品名 | PAMC-104 |
---|---|
制御軸数 | 4 |
最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
インターフェイス | RS232C |
電源電圧(V) | DC24 |
消費電流(A) | ― |
寸法(mm) (突起部除く) |
200x162x50 |
動作温度 | 0~40℃ |
保存温度 | 0~40℃ |
周囲湿度 | 10~80%RH(結露なきこと) |
質量(kg) | 1.2 |
価格(円) | 132,000 |
User manual | Download |
品名 | PAMC4-485 |
---|---|
最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
制御軸数 | 4 |
チャンネル切替数 | 4 |
インターフェイス | RS485 |
電源電圧(V) | DC24 |
消費電流(A) | ― |
寸法(mm) (突起部除く) |
200x162x50 |
動作温度 | 0~40℃ |
保存温度 | 0~40℃ |
周囲湿度 | 10~80%RH(結露なきこと) |
質量(kg) | 1.2 |
価格(円) | 132,000 |
User manual | Download |
品名 | PAM-RC100 |
---|---|
最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
チャンネル切替数 | 4 |
インターフェイス | RS232C |
寸法(mm) (突起部除く) |
102x78x30 |
動作温度 | 0~40℃ |
保存温度 | 0~40℃ |
周囲湿度 | 10~80%RH(結露なきこと) |
質量(kg) | 0.32 |
価格(円) | 55,000 |
User manual | Download |
注意事項
- 本製品の電源仕様はDC+24V2Aです。
- 製品は、ピエゾアシストモータ以外の製品を接続しないでください。