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ピエゾアシストモーター

ピエゾアシストモーター

  • ピエゾアシストモーターとは大変位(ロングストローク)かつ高分解能、高推力を出力できる
    モーターです。
  • PAM3-6.5及びPAM6-13の出力推力はそれぞれ13N及び29Nです。一方、PAM3-6.5及びPAM6-13の変位量は
    それぞれ6.5㎜と13㎜で,分解能はそれぞれ30nm及び25nm以下です。
  • 名刺サイズ以下で小型であるため、簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。
  • 科学研究及び工業用途のために、設計されたモーターであり、下記の用途に適しています。
    • 顕微鏡のスキャニング
    • 高速スループット顕微鏡
    • 高分解能顕微鏡
    • 計測技術
    • バイオテクノロジー
    • 干渉計形状測定
    • マスク/ウエハー位置決め
    • マイクロマニピュレー
      ション
  • 駆動するには、専用のコントローラ(PAMC-104)および専用ソフトをご使用ください。
    また、専用ケーブル(2m)を付属されています。

外形図(単位:mm)

PAM3-6.5




















PAM6-13




















専用ケーブル(2m)

仕様

品名 PAM3-6.5 PAM6-13
最小移動量 (nm) 30以下 25以下
最大耐荷重(N) 13以上 29.4以上
最大駆動周波数(kHz) 2 2
最大速度(mm/min) 1.5 1.5
粗動移動量(mm) 6.5以上(最大9) 13以上(最大18)
取り付け部(mm) φ6シャンク M9x0.5ネジ
寸法(mm) 41x21.6x8.2 61x31x15.1
動作温度 0~40℃ 0~40℃
保存温度 0~40℃ 0~40℃
周囲湿度 10~80%RH(結露なきこと) 10~80%RH(結露なきこと)
コネクタ SMBコネクタ SMBコネクタ
寿命 1x109パルス以上 1x109パルス以上
質量(kg) 0.02 0.05
価格(円) 88,000 77,000

用途

(PAM6-13の応用例)ステージ(40x40□、60x60□)に取り付ける。

  • 顕微鏡のスキャニング
  • 高速スループット顕微鏡
  • 高分解能顕微鏡
  • マスク/ウエハー位置決め
  • バイオテクノロジー
  • 干渉計形状測定
  • 計測技術
  • マイクロマニピュレーション

60角のステージに取付け時

注意事項

  • アクチュエータ本体の追従性向上のため、適度な荷重(3N以上推奨)を設定してください。
  • 本製品は、個体差、アクチュエータの送り方向により速度・最小移動量にバラつきが生じます。予めご了承ください。
  • ご所有の手動ステージと組合せをする場合には、別途承ります。お問合せください。
    組み合わせの仕様によっては、追加工や改造が必要になる場合があります。組付け依頼と合わせてご確認ください。
  • 本製品を駆動するには、専用コントローラ(PAMC-104)をご使用ください。

ピエゾアシストスモーターコントローラ(PAMC-104)

  • ピエゾアシストモーターコントローラとは、ピエゾアシストモーターを駆動する専用コントローラです。
  • 本商品は、RS-232Cを介したPC操作からリモート操作が可能である。マニュアル操作の場合、PAM-RC100と接続してご利用ください。
  • 駆動するには、専用ケーブルをご使用ください。

外形図(単位:mm)

PAMC-104

PAM-RC100(別売り品)

仕様

品名 PAMC-104
制御軸数 4
最大駆動周波数(kHz) 2
インターフェイス RS232C
電源電圧(V) DC24
消費電流(A)
寸法(mm)
(突起部除く)
200x162x50
動作温度 0~40℃
保存温度 0~40℃
周囲湿度 10~80%RH(結露なきこと)
質量(kg) 1.2
価格(円) 110,000

 

品名 PAM-RC100
駆動周波数(Hz) 0~2000
チャンネル切替数 4
インターフェイス RS232C
寸法(mm)
(突起部除く)
102x78x30
動作温度 0~40℃
保存温度 0~40℃
周囲湿度 10~80%RH(結露なきこと)
質量(kg) 0.32
価格(円) 44,000

注意事項

  1. 本製品の電源仕様はDC+24V2Aです。
  2. 製品は、ピエゾアシストモーター以外の製品を接続しないでください。
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