ピエゾアシストモータ
ピエゾアシストモータ
- ピエゾアシストモータとは大変位(ロングストローク)かつ高分解能、高推力を出力できるモータです。
- PAM3-6.5及びPAM6-13の出力推力はそれぞれ13N及び29Nです。一方、PAM3-6.5及びPAM6-13の変位量はそれぞれ6.5㎜と13㎜で,分解能はそれぞれ30nm及び25nm以下です。
- 名刺サイズ以下で小型であるため、簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。
- 科学研究及び工業用途のために、設計されたモータであり、下記の用途に適しています。
- 顕微鏡のスキャニング
- 高速スループット顕微鏡
- 高分解能顕微鏡
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 干渉計形状測定
- マスク/ウエハー位置決め
- 計測技術
- ミラーホルダー角度調整
- 駆動するには、専用のコントローラ（PAMC-104）および専用ソフトをご使用ください。また、専用ケーブル（2m）を付属されています。
*「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です。
駆動例（参考）
※ 駆動をわかりやすくするため、超高速で再生しています。
PAM3-6.5 (荷重1.5kg 約100倍速)
PAM6-13 (荷重3kg 約1,000倍速)
| 品名 | 価格 [円] （税込) |
|
|---|---|---|
| PAM3-6.5 | ピエゾアシストモータ, 移動量 6.5mm, 最小移動量 30nm, 取り付け部 φ6シャンク | 88,000 |
| PAM6-13 | ピエゾアシストモータ, 移動量 13mm, 最小移動量 25nm, 取り付け部 φ95シャンク | 77,000 |
| PAMC-104 | ピエゾアシストモータコントローラ, 4軸, RS232C通信 | 88,000 |
| PAMC-100 | ピエゾアシストモータコントローラ （リモコン） | 44,000 |
| PAMC4-485 | ピエゾアシストモータコントローラ, 4軸, RS485通信 | 88,000 |
ピエゾアシストモータの動作原理
ピエゾアシストモータは、ハウジング内のピエゾ慣性回転機構によりネジ軸を回転し、ネジ軸方向に推力と変位を発生します。
図２のピエゾ慣性回転機構原理図に於いて、回転子はネジ軸と一体で慣性モーメント（回転ノブなど）に接続されており、回転子と 接触子間には所要の静摩擦力を持たせる様に圧力（非表示）が印加されています。図２のように圧電素子が伸びると、接触子A,Bは図２ のように相対動作します。この接触子A,Bの相対動作の加速度によって慣性モーメントに生じる回転運動の加速度による発生力が、回転子 と接触子間の静摩擦力以下である場合には、回転子は回転運動を起こし、静摩擦力以上である場合には、回転子と接触子間にはすべりを生じます。
外形図（単位：mm）
PAM3-6.5
PAM6-13
専用ケーブル（2m）
仕様
| 品名 | PAM3-6.5 | PAM6-13 |
|---|---|---|
| 最小移動量 (nm) | 30以下 | 25以下 |
| 最大耐荷重(N) | 13以上 | 29.4以上 |
| 最大駆動周波数(kHz) | 2 | 2 |
| 最大速度(mm/min) | 1.5 | 1.5 |
| 粗動移動量(mm) | 6.5以上（最大９） | 13以上（最大18） |
| 取り付け部(mm) | φ6シャンク | M9x0.5ネジ |
| 寸法(mm) | 41x21.6x8.2 | 61x31x15.1 |
| 動作温度 | 0～40℃ | 0～40℃ |
| 保存温度 | 0～40℃ | 0～40℃ |
| 周囲湿度 | 10～80％RH（結露なきこと） | 10～80％RH（結露なきこと） |
| コネクタ | SMBコネクタ | SMBコネクタ |
| 寿命 | 1x109パルス以上 | 1x109パルス以上 |
| 質量(kg) | 0.02 | 0.05 |
| 価格(円) | 88,000 | 77,000 |
用途
（PAM6-13の応用例）ステージ（40x40□、60x60□）に取り付ける。
- 顕微鏡のスキャニング
- 高速スループット顕微鏡
- 高分解能顕微鏡
- マイクロマニピュレーション
- バイオテクノロジー
- 干渉計形状測定
- マスク/ウエハー位置決め<
- 計測技術
- ミラーホルダー角度調整
ピエゾアシストモータの動作事例
図1、図2は、この装置を用いて、駆動周波数１Hz及び５Hzで４０パルス駆動したときの
変位vs時間特性です。図1は正回転、図2は逆回転の
場合です。
- １Hzでは、10～16nm/pulseの階段状変位になり、５Hzでは滑らかに変位しています。
- ４０パルスに対する変位量は、１Hz ５Hzともに、正回転では 480nm（平均 12nm/pulse、逆回転では 520nm（平均 13nm/pulse）になっています。
- ナノメートル単位の超精細な分解能
- 電源無供給でも位置を保持
- 可動角度範囲は±3.5°（≒ ± 61mrad )
- 1.6 μrad ずつ超精細に調整可能（７万段階以上)
ピエゾアシストモータの応用例（ミラーホルダー角度調整）
駆動実験動画（参考)
注意事項
- アクチュエータ本体の追従性向上のため、適度な荷重（3N以上推奨）を設定してください。
- 本製品は、個体差、アクチュエータの送り方向により速度・最小移動量にバラつきが生じます。予めご了承ください。
- ご所有の手動ステージと組合せをする場合には、別途承ります。お問合せください。
組み合わせの仕様によっては、追加工や改造が必要になる場合があります。組付け依頼と合わせてご確認ください。 - 本製品を駆動するには、専用コントローラ（PAMC-104）をご使用ください。
ピエゾアシストモータコントローラ（PAMC-104）
- ピエゾアシストモータコントローラとは、ピエゾアシストモータを駆動する専用コントローラです。
- 本商品は、RS-232Cを介したPC操作からリモート操作が可能である。マニュアル操作の場合、PAM-RC100と接続してご利用ください。
- 駆動するには、専用ケーブルをご使用ください。
外形図（単位：mm）
PAMC-104
PAMC4-485
PAM-RC100（別売り品）
仕様
| 品名 | PAMC-104 |
|---|---|
| 制御軸数 | 4 |
| 最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
| インターフェイス | RS232C |
| 電源電圧（V） | DC24 |
| 消費電流（A） | ― |
| 寸法（mm） （突起部除く） |
200x162x50 |
| 動作温度 | 0～40℃ |
| 保存温度 | 0～40℃ |
| 周囲湿度 | 10～80％RH（結露なきこと） |
| 質量(kg) | 1.2 |
| 価格(円) | 88,000 |
| 品名 | PAMC4-485 |
|---|---|
| 最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
| 制御軸数 | 4 |
| チャンネル切替数 | 4 |
| インターフェイス | RS485 |
| 電源電圧（V） | DC24 |
| 消費電流（A） | ― |
| 寸法（mm） （突起部除く） |
200x162x50 |
| 動作温度 | 0～40℃ |
| 保存温度 | 0～40℃ |
| 周囲湿度 | 10～80％RH（結露なきこと） |
| 質量(kg) | 1.2 |
| 価格(円) | 88,000 |
| 品名 | PAM-RC100 |
|---|---|
| 最大駆動周波数(Hz) | 1500 |
| チャンネル切替数 | 4 |
| インターフェイス | RS232C |
| 寸法（mm） （突起部除く） |
102x78x30 |
| 動作温度 | 0～40℃ |
| 保存温度 | 0～40℃ |
| 周囲湿度 | 10～80％RH（結露なきこと） |
| 質量(kg) | 0.32 |
| 価格(円) | 44,000 |
注意事項
- 本製品の電源仕様はDC＋24V2Aです。
- 製品は、ピエゾアシストモータ以外の製品を接続しないでください。