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薄型ピエゾアクチュエータ・ピエゾセンサ：マクロファイバーコンポジット

製造：スマートマテリアル社（Smart Material）

マクロファイバーコンポジット（MFC）は、高い性能・柔軟性・信頼性を手頃な価格で両立した、薄型アクチュエータ兼センサです。1999年にNASAが開発し、2002年からスマートマテリアル社がライセンスを受けて製造・販売しています。以降も改良が続けられ、新しい用途に合わせた特注にも対応しています。

MFCは、短冊状の圧電セラミックロッドを、接着層・電極・ポリイミドフィルムで挟み込んだ構造です。電極はフィルム上に櫛歯状（インターデジタル）に配置され、印加した電圧をロッドへ直接伝えます。この構造により、面内方向の分極・駆動・センシングが、密閉され扱いやすいパッケージのまま行えます。

MFCは、薄いシートとして構造物の表面に貼り付けるほか、複合材の内部に埋め込むこともできます。電圧を加えると屈曲・変形し、振動の抑制や加振に使えます。電圧を加えない状態では高感度のひずみゲージとして働き、変形・騒音・振動を検出します。振動からのエネルギーハーベスティングにも適しています。

P1タイプは、F1・S1タイプとともにd33効果で駆動します。-500 V 〜 +1,500 V の全範囲で駆動した場合、最大1,800 ppm 伸長します。これらのタイプは高感度のひずみセンサとしても使用できます。

P1・F1・S1タイプ　駆動電圧 -500 V 〜 +1,500 V
最低発注数量：10個。海外から日本へ発送する場合、送料 20,000円を申し受けます。

型番	有効長 mm	有効幅 mm	全長 mm	全幅 mm	静電容量 nF ±20%	自由ひずみ ppm ±10%	ブロッキング力 N ±10%
M2503-P1	25	3	35	9	0.22	788	21
M2807-P1	28	7	38	13	0.7	1,035	62
M2814-P1	28	14	38	20	1.9	1,160	146
M4005-P1	40	5	50	11	0.70	885	38
M4010-P1	40	10	50	16	1.9	1,050	90
M4312-P1	43	12	53	18	2.1	1,050	94
M5628-P1	56	28	67	35	4.4	1,350	340
M8503-P1	85	3	116	14	0.9	788	21
M8507-P1	85	7	101	13	3.1	1,035	65
M8514-P1	85	14	101	20	4.2	1,200	152
M8528-P1	85	28	103	35	6.9	1,350	454
M8557-P1	85	57	103	64	16.00	1,350	693
M14003-P1	140	3	160	10	1.4	1,050	28

S1タイプ（特殊仕様）　駆動電圧 -500 V 〜 +1,500 V
最低発注数量：10個。海外から日本へ発送する場合、送料 20,000円を申し受けます。

型番	有効長 mm	有効幅 mm	全長 mm	全幅 mm	静電容量 nF ±20%	自由ひずみ ppm ±10%	ブロッキング力 N ±10%
M8557-S1 センサ内蔵アクチュエータ	85 / 85	47 / 5	112	75	13.00 / 1.45	1,350	570（計算値）

F1タイプ　駆動電圧 -500 V 〜 +1,500 V
最低発注数量：10個。海外から日本へ発送する場合、送料 20,000円を申し受けます。

型番	有効長 mm	有効幅 mm	全長 mm	全幅 mm	静電容量 nF ±20%	自由ひずみ ppm ±10%	ブロッキング力 N ±10%
M8528-F1	85	28	105	35	11.00	1,350	364（計算値）
M8557-F1	85	57	105	64	16.00	1,350	710（計算値）

P2・P3タイプはd31効果で駆動します。-60 V 〜 +360 V の全範囲で駆動した場合、最大750 ppm 収縮します。主にエネルギーハーベスティング用途、およびひずみセンサとして使用されます。

P2タイプ（異方性）　駆動電圧 -60 V 〜 +360 V
最低発注数量：10個。海外から日本へ発送する場合、送料 20,000円を申し受けます。

型番	有効長 mm	有効幅 mm	全長 mm	全幅 mm	静電容量 nF ±20%	自由ひずみ ppm ±10%	ブロッキング力 N ±10%
M0714-P2	7	14	16	16	11	-540	-57
M2807-P2	28	7	37	10	21.5	-600	-35
M2814-P2	28	14	37	18	43	-630	-76
M5628-P2	56	28	67	31	175	-740	-175
M8503-P2	85	3	94	7	15.5	-430	-11
M8507-P2	85	7	100	10	63	-605	-38
M8514-P2	85	14	100	18	127	-630	-76
M8528-P2	85	28	103	31	258	-740	-180
M8557-P2	85	57	103	60	548	-750	-385
M8585-P2	85	85	103	88	662	-750	-585
M17007-P2	170	7	185	11	126	-600	-37

P3タイプ（直交異方性）　駆動電圧 -60 V 〜 +360 V
最低発注数量：10個。海外から日本へ発送する場合、送料 20,000円を申し受けます。

型番	有効長 mm	有効幅 mm	全長 mm	全幅 mm	静電容量 nF ±20%	自由ひずみ ppm ±10%	ブロッキング力 N ±10%
M2814-P3	28	14	37	18	52	-620	-95
M5628-P3	56	28	66	31	130	-800	-240
M8528-P3	85	28	103	31	227	-800	-240

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