ピエゾ素子内蔵 位置決めネジ
型式 MTSCREW-75-18
MTSCREWは、位置決めネジとピエゾアクチュエータを一体化した製品で、粗動と微動の両方に対応します。ツマミを回すことで12 mmの手動送りが得られ、電圧を印加することで最大22 µmのピエゾ微動が可能です。分解能は0.1 Vあたり0.013 µmです。
通常の調整ネジと置き換えてご使用いただけるため、既存の手動ステージやマウントを、別置きのアクチュエータを前提に設計し直すことなく、ナノメートルオーダーの制御に対応させることができます。
MTSCREW-75-18（ブッシングを取り外した状態）
仕様
| 可動範囲（ネジ駆動） | 12 mm |
| 可動範囲（ピエゾ駆動） | 最小 17 µm ／ 最大 22 µm |
| 分解能（機械式） | 1回転あたり約 0.25 mm |
| 分解能（ピエゾ） | 0.1 V ステップあたり 0.013 µm（計算値） |
| 推奨負荷 | 100 N（推定発生力） |
| 調整部 | ピエゾ素子内蔵 手動調整ネジ M6 × P0.25 |
| ピエゾ制御電圧 | -5 ～ 75 V |
| ピエゾ用コネクタ | SMB オス |
| ピエゾ静電容量 | 0.8 µF |
| 取付方法 | ブッシングを挿入するための加工穴が必要です |
| 真空対応 | 非対応。真空環境向けの仕様は別途ご用意しております。 |
| 使用温度範囲 | -25 ～ 85 ℃ |
調整方法
粗動 / COARSE
ツマミを回す
ネジ駆動により、1回転あたり約0.25 mm、合計12 mmの可動範囲が得られます。目的の位置に近づいたら、ナットで固定してください。
微動 / FINE
電圧を印加する
-5～75 Vの範囲でピエゾ素子が先端を最大22 µm変位させます。0.1 Vステップあたり0.013 µmの分解能です。
用途例
ピエゾ精密ステージ
手動調整のみのステージに、微細な位置決め機能を追加できます。
ミラーマウント
ツマミでミラー角度を粗調整したうえで、電圧制御により微調整を行えます。
主要構成部品
- 回転ツマミ
- ロックナット M6 × P0.25、厚さ1.5 mm
- ネジ部 M6 × P0.25
- ピエゾ素子内蔵 微調整ネジ M6 × P0.25
- ブッシング
取付方法
- ブッシングを相手部品に接着する前に、アクチュエータ（オスネジ側）をブッシングから取り外してください。
- 相手部品の板厚は、ブッシングの長さより薄くしてください。
- 取付部品にブッシング用の穴を加工し、ブッシングを接着したうえで、アクチュエータを再度取り付けてください。
加工穴の寸法を含む外観図は、データシートに記載しております。
使用上のご注意
- MTSCREWを落下させないでください。外部からの衝撃により破損するおそれがあります。
- MTSCREWは外力に対して非常に敏感ですので、取り扱いには十分ご注意ください。
- 保管は -5 ～ +40 ℃、相対湿度40 %以下、結露のない環境で行ってください。
- 相対湿度70 %以上の高湿度環境で直流電圧を長時間印加し続けると、ピエゾ素子の内部電極でマイグレーションが発生し、絶縁抵抗が低下するおそれがあります。
- 使用温度範囲は -20 ～ +85 ℃ です。動作中のピエゾ素子自体の温度上昇も考慮してください。
- パルス波形のような急激な充放電は、ピエゾアクチュエータを破損させるおそれがあります。入力電圧は緩やかに変化させるか、アンプとMTSCREWの間に抵抗を挿入してください。また、意図しない充放電を避けるため、SMBケーブルの接続は必ず電源を切った状態で行ってください。
- -10 V未満または75 Vを超える電圧は、ピエゾ素子を恒久的に破損させるおそれがあります。