製品情報
ピエゾアシストステージとは
ピエゾアシストステージとは、20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動（ミリメートルオーダー、最大13ミリメートル）を備えた微動粗動手動ステージです。主な用途はテーブルの精密位置決めや、ナノインデンテーションのように微小荷重のコントロールを要する用途です。小型で扱いやすいステージです。
ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。
※「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です。
ピエゾアシストステージ ラインアップ
| 型番 | テーブル サイズ |
粗動移動量 | 微動移動量 | 微動量 最小分解能 |
マイクロメータ 操作位置 |
価格 [円] （税別） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MTPA-2251SPA | 25×25 mm | ±3 mm | 25 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 79,650 |
| MTPA-2251SRPA | 25×25 mm | ±3 mm | 25 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 79,650 |
| MTPA-2251SRZPA | 25×25 mm | ±3 mm | 25 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 79,650 |
| MTPA-2251SZPA | 25×25 mm | ±3 mm | 25 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 79,650 |
| MTPA-2401SPA | 40×40 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 80,240 |
| MTPA-2401SRPA | 40×40 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 80,240 |
| MTPA-2401SRZPA | 40×40 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 80,240 |
| MTPA-2401SZPA | 40×40 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 80,240 |
| MTPA-2601SPA | 60×60 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 82,600 |
| MTPA-2601SRPA | 60×60 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 82,600 |
| MTPA-2601SRZPA | 60×60 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 82,600 |
| MTPA-2601SZPA | 60×60 mm | ±6.5 mm | 30 µm以上 | 20 nm以下 | サイド | 82,600 |
※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2,000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
ピエゾアシストステージコントローラ
| 型番 | タイプ | 制御軸数 | 電源電圧 | 価格 [円]（税別） |
|---|---|---|---|---|
| MTSD2001 | コントローラ | 1軸 | DC6V 0.8A | 53,100 |
| MTSD2003 | コントローラ | 3軸 | DC6V 1.8A | 106,200 |
| SPU15-102 | アダプタ | — | DC6V 2.0A | 4,720 |
動作原理
装置の構成
ピエゾアシストステージは、ステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構を、X軸・Y軸にそれぞれ持っています。ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めと精密な荷重制御を行います。
マイクロメータは稼動範囲が最大13 mm あり、10 µm の分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35 µm で、20 nm の分解能で位置決めができます。ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することでナノメートルオーダーの位置決めを可能にしています。
粗動機構による精密位置決め
粗動機構による精密位置決めは、マイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。
微動機構による精密位置決め
微動機構による精密位置決めは、コントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは供給する電圧に比例して伸縮するため、電圧を制御することでナノメートルオーダーの位置決めができます。
テーブルサイズ
テーブルサイズ 25×25 mm
MTPA-2251SPA
MTPA-2251SRPA
MTPA-2251SRZPA
MTPA-2251SZPAテーブルサイズ 40×40 mm
MTPA-2401SPA
MTPA-2401SRPA
MTPA-2401SRZPA
MTPA-2401SZPAテーブルサイズ 60×60 mm
MTPA-2601SPA
MTPA-2601SRPA
MTPA-2601SRZPA
MTPA-2601SZPA応用例
- オートフォーカス
- 共焦点顕微鏡
- 半導体、FPD検査装置
- 画像処理機器
- レーザ加工
- 干渉計形状測定
PID制御位置決めシステム
ピエゾアシストステージに変位センサーを併用したPID制御システムにより、ドリフトやヒステリシスが無く、安定した、高精度な位置決め制御が実現できます。
ピエゾアシストステージコントローラ（MTSD2001とMTSD2003）
ピエゾアシストステージの微動調整を行う専用コントローラです。
コントローラ種類：1軸タイプ（MTSD2001）と3軸タイプ（MTSD2003）
コントローラのダイアルノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。
外形図（単位：mm）
仕様
| 製品名 | MTSD2001 | MTSD2003 | アダプタ（SPU15-102） |
|---|---|---|---|
| 制御軸数 | 1軸 | 3軸 | — |
| 電源電圧 | DC6V 0.8A | DC6V 1.8A | DC6V 2.0A |
| 対応ACアダプタ | SPU15-102 | SPU15-102 | — |
| 動作温度 | 5〜40℃ | 5〜40℃ | 5〜40℃ |
| 保存温度 | -20〜60℃ | -20〜60℃ | -20〜60℃ |
| 周囲湿度 | 20〜80％RH （結露なきこと） |
20〜80％RH （結露なきこと） |
20〜80％RH （結露なきこと） |
| 外形寸法 （突起部除く） |
80×80×25 mm | 160×80×25 mm | 60×43.5×40.2 mm |
| Safety | — | — | IEC 62368-1 Edition 2.0, CoC V5 (Tier2) |
| 質量 | 0.12 kg | 0.28 kg | 0.17 kg |
| 価格 [円]（税別） | ¥53,100 | ¥106,200 | ¥4,720 |
注意事項
- DCジャックの適応サイズはφ4 mm です。お客様にて電源をご準備される際は、プラグ径にご注意ください。
- ピエゾアシストステージ専用コントローラ（MTSD200X）の電源をOFFにすると、ピエゾアシストステージの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。