ピエゾアシストステージ *
ピエゾアシストステージとは
ピエゾアシストステージとは20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動(ミリメートルオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単。低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1ナノメートル=10億分の1メートル)
- ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。
図1
*「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です。
ピエゾアシストステージ
| 品番 | テーブル サイズ |
粗動移動量 | 微動移動量 | 微動量 最小分解能 |
マイクロメータ 操作位置 |
価格 [円] （税込) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MTPA-2251SPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,250 |
| MTPA-2251SRPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,250 |
| MTPA-2251SRZPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,250 |
| MTPA-2251SZPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,250 |
| MTPA-2401SPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,800 |
| MTPA-2401SRPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,800 |
| MTPA-2401SRZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,800 |
| MTPA-2401SZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 74,800 |
| MTPA-2601SPA | 60×60mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 77,000 |
| MTPA-2601SRPA | 60×60mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 77,000 |
| MTPA-2601SRZPA | 60×60mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 77,000 |
| MTPA-2601SZPA | 60×60mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20nm以下 | サイド | 77,000 |
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
ピエゾアシストステージコントローラ
| 品名 | タイプ | 制御軸数 | 電源電圧 | 価格 [円] （税込) |
|---|---|---|---|---|
| MTSD2001 | ピエゾアシストステージ コントローラ |
1軸 | DC6V 0.8A | 49,500 |
| MTSD2003 | ピエゾアシストステージ コントローラ |
3軸 | DC6V 1.8A | 99,000 |
| SPU15-102 | アダプタ | DC6V 2.0A | 4,400 |
ピエゾアシストステージの動作原理
<装置の構成>
ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。
マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。
<粗動機構による精密位置決め>
粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。
<微動機構による精密位置決め>
微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。
25x25mm テーブルサイズ
40x40mm テーブルサイズ
60x60mm テーブルサイズ
ピエゾアシストステージの応用例
- オードフォーカス
- 共焦点顕微鏡
- 半導体、FPD検査装置
- 画像処理機器
- レーザ加工
- 干渉計形状測定
MTPA-2601SZPAにレンズ取付け時
PID制御位置決めシステム
ピエゾアシストステージに変位センサーを併用したPID制御システムにより、
ドリフトやヒステリシスが無く、安定した、高精度な位置決め制御が
実現できます。
PID実験状況
ピエゾアシストステージコントローラ（MTSD2001とMTSD2003）
- ピエゾアシストステージの微動調整を行う専用コントローラです。
- コントローラ種類：1軸タイプ(MTSD2001)と３軸タイプ（MTSD2003）
- コントローラのダイアルノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。
外形図（単位：mm）
MTSD2001
MTSD2003
専用ケーブル（2m）
仕様
| 品名 | MTSD2001 | MTSD2003 | アダプタ (SPU15-102) |
|---|---|---|---|
| 制御軸数 | 1軸 | 3軸 | |
| 電源電圧 | DC6V 0.8A | DC6V 1.8A | DC6V 2.0A |
| 対応ACアダプタ | SPU15-102 | SPU15-102 | |
| 動作温度 | 5～40℃ | 5～40℃ | 5～40℃ |
| 保存温度 | -20～60℃ | -20～60℃ | -20～60℃ |
| 周囲湿度 | 20～80％RH （結露なきこと） |
20～80％RH （結露なきこと） |
20～80％RH （結露なきこと） |
| 外形寸法 （突起部除く） |
80x80x25mm | 160x80x25mm | 60x43.5x40.2mm |
| Safety | － | － | IEC 62368-1 Edition 2.0, CoC V5 (Tier2) |
| 質量 | 0.12kg | 0.28kg | 0.17Kg |
| 価格 | ¥49,500 | ¥99,000 | ¥4,400 |
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
注意事項
- DCジャックの適応サイズはφ4mmです。お客様にて電源をご準備される際は、プラグ径にご注意ください。
- ピエゾアシストステージ専用コントローラ(MTSD200X)の電源をOFFにすると、ピエゾアシストステージの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。