MTPA-2401SRZPA
1. 外形図(単位:mm)
2. 仕様
テーブル面サイズ | 40×40mm |
粗動移動量 | ±6.5mm |
微動移動量 | >30µm |
マイクロ操作位置 | サイド Side |
移動量/1回転 | 0.5mm |
マイクロメータ最小読取 | 0.01mm |
微動最小分解能 | <20nm |
移動ガイド | ボールガイド |
主要材質 | アルミ |
表面処理 | 黒アルマイト |
耐荷重 | 9.8N(1.0kgf) |
移動精度/真直度 | 3μm |
許容モーメント荷重/ピッチング | 2.5N・m |
許容モーメント荷重/ローリング | 2.5N・m |
モーメント剛性/ピッチング | 0.66″/N・cm |
移動平行度 | 10μm |
質量 | 0.16kg |
3. 注意事項
- ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
- ピエゾアシスト専用コントローラの電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。
- ピエゾアシストステージを運送する際、ステージのロックを必ずかけた上で行ってください。運送時の振動はピエゾアシスト機構を壊す恐れがあります。