MTPA-2251SPA
1. 外形図（単位：mm）
2. 仕様
| テーブル面サイズ |
25×25mm |
| 粗動移動量 |
±3mm |
| 微動移動量 |
＞25µm |
| マイクロ操作位置 |
サイド Side |
| 移動量/1回転 |
0.5mm |
| マイクロメータ最小読取 |
0.01mm |
| 微動最小分解能 |
<20nm |
| 移動ガイド |
ボールガイド |
| 主要材質 |
アルミ |
| 表面処理 |
黒アルマイト |
| 耐荷重 |
39.2N（4.0kgf） |
| 移動精度/真直度 |
3μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング |
2.0N・m |
| 許容モーメント荷重/ローリング |
1.9N・m |
| 許容モーメント荷重/ヨーイング |
1.9N・m |
| モーメント剛性/ピッチング |
2.5″/N・cm |
| モーメント剛性/ローリング |
2.0″/N・cm |
| 平行度 |
30μm |
| 移動平行度 |
10μm |
| 質量 |
0.07kg |
3. 注意事項
- ステージを設置する際には、マイクロあてに衝撃を与えないようにご注意ください。ピエゾアシスト機構が破損する恐れがあります。
- ピエゾアシスト専用コントローラの電源をOFFにすると、ピエゾアシストの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。
- ピエゾアシストステージを運送する際、ステージのロックを必ずかけた上で行ってください。運送時の振動はピエゾアシスト機構を壊す恐れがあります。
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