扁平ピエゾアクチュエータ

メカトランスDDシリーズ

MTDDシリーズラインアップと価格

価格は税別です。発生変位は拘束時から無負荷時までの公称値です。

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD03S50F3 データシート →	15 x 3 x 5	50	3	0.06	1,500	0.03	STEP →	110,000	104,500	88,000	77,000
MTDD06S100F10 データシート →	20 x 6 x 7	100	10	0.10	700	0.2	STEP →	88,000	83,600	70,400	61,600
MTDD06S100F11 データシート →	20 x 6 x 7	100	11	0.11	900	0.36	STEP →	93,500	88,825	74,800	65,450
MTDD06S330F7 データシート →	22 x 6 x 7.8	330	7	0.02	400	0.86	STEP →	104,500	99,275	83,600	73,150
MTDD08S180F32 データシート →	28 x 8 x 8	180	32	0.18	900	0.9	STEP →	99,000	94,050	79,200	69,300
MTDD08S300F16 データシート →	26 x 8 x 7	300	16	0.053	460	0.7	STEP →	99,000	94,050	79,200	69,300
MTDD08S350F18 データシート →	26 x 8 x 7	350	18	0.051	500	0.8	STEP →	104,500	99,275	83,600	73,150
MTDD12S90F5 データシート →	22 x 12 x 5.12	90	5	0.06	700	0.36	―	110,000	104,500	88,000	77,000
MTDD12S600F80 データシート →	46.8 x 12 x 12.6	600	80	0.13	300	6.75	―	158,000	150,000	142,500	135,400
MTDD16S750F90 データシート →	52 x 16 x 14	750	90	0.12	230	8.0	STEP →	152,000	145,400	120,600	107,400
MTDD16S830F80 データシート →	52 x 16 x 14	830	80	0.10	230	11.8	―	157,500	150,625	125,000	111,250
MTDD16S860F64 データシート →	52 x 16 x 14	860	64	0.07	195	11.7	―	163,000	155,850	129,400	115,100
MTDD15.6S1600F70 データシート →	107 x 156 x 14.4	1,600	70	0.044	110	31.0	―	409,400	399,930	326,520	297,580

MTDDシリーズ真空対応タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD12S600F80-VC データシート →	46.8 x 12 x 12.6	600	80	0.13	300	2.6	―	200,000	190,000	180,500	171,500

MTDDシリーズ 75Vタイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD08S250F12 データシート →	26 x 8 x 7	250	12	0.048	450	1.4	―	100,000	95,000	80,000	70,000

MTDDシリーズ非磁性タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD16S860F64NM データシート →	52 x 16 x 14	860	64	0.07	195	11.7	―	154,000	146,300	123,200	107,800

MTDDシリーズ非磁性・真空対応タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD10S580F80NM-PS データシート →	64 x 10 x 21.4	580	80	0.14	282	11.6	―	198,000	188,100	158,400	138,600

MTDDシリーズリニアブッシュ付き

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD23S150F800LB データシート →	90 x 54 x 27	150	800	5.33	1,600	23.1	―	385,000	365,750	308,000	269,500

MTDDシリーズ 75Vタイプ（新）

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTDD08S250F12 データシート →	26 x 8 x 7	250	12	0.048	450	1.4	―	66,000	62,700	52,800	46,200

商品概要

The DD-Series is a compact piezoelectric actuator that produces an output stroke more than ten times that of a multilayer stacked actuator on its own. It pairs a stacked actuator with a stroke magnification structure that overcomes the small displacement of the stack.

The body is flat and compact, so it uses space efficiently, and the output stroke is turned through 90 degrees relative to the stack's own direction. Applying a voltage makes the unit elongate, as figure 2 shows.

DDシリーズの動作を見る →

特長

大きな発生変位
扁平・小型
圧電素子の変位方向を90度変換しています
図2のとおり、電圧を印加すると伸びます
出力方向はDシリーズと逆になります

動作原理

Tapped holes are provided on both sides of the unit. The piezoelectric actuator carries red and black, or white, lead wires. Figure 1 shows a typical connection between the driver and the actuator; depending on the drive conditions a series resistor may be needed. Applying a voltage makes the unit elongate as in figure 2.

図1　ピエゾアクチュエータの構成

図2　DDシリーズの動作原理

データシートダウンロード

MTDDシリーズ

MTDD03S50F3PDF → MTDD06S100F10PDF → MTDD06S100F11PDF → MTDD06S330F7PDF → MTDD08S180F32PDF → MTDD08S250F12PDF → MTDD08S300F16PDF → MTDD08S350F18PDF → MTDD12S90F5PDF → MTDD12S600F80PDF → MTDD16S750F90PDF → MTDD16S830F80PDF → MTDD16S860F64PDF → MTDD16S860F64NMPDF →

リニアブッシュ付き

MTDD23S150F800LBPDF →

応用例と注意事項

DDシリーズの用途

リソグラフィ装置の位置決めステージ
カメラのオートフォーカス機構
精密ポンプ

ご使用の前に取り扱いの注意をお読みください。

01ヒステリシス 02高湿度下での直流電圧の連続印加 03アクチュエータへの引張り、アームへの圧縮は避けてください 04直流電圧を瞬間的に重畳しないでください 05使用温度 06分極

ご希望の仕様が見つからない場合

必要な発生変位・発生力・取付寸法をお知らせいただければ、既存型番の仕様変更や新規設計を承ります。

お問い合わせ →

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