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扁平ピエゾアクチュエータ

Compact Piezo Actuator

メカトランスDDシリーズ

MTDD Series

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTDD03S50F3
Datasheet Download
15×3×5 50 3 0.06 1500 0.03 Download 110,000 104,500 88,000 77,000
MTDD06S100F10
Datasheet Download
20×6×7 100 10 0.10 700 0.2 Download 88,000 83,600 70,400 61,600
MTDD06S100F11
Datasheet Download
20×6×7 100 11 0.11 900 0.36 Download 93,500 88,825 74,800 65,450
MTDD06S330F7
Datasheet Download
22×6×7.8 330 7 0.02 400 0.86 Download 104,500 99,275 83,600 73,150
MTDD08S180F32
Datasheet Download
28×8×8 180 32 0.18 900 0.9 Download 99,000 94,050 79,200 69,300
MTDD08S300F16
Datasheet Download
26×8×7 300 16 0.053 460 0.7 Download 99,000 94,050 79,200 69,300
MTDD08S350F18
Datasheet Download
26×8×7 350 18 0.051 500 0.8 Download 104,500 99,275 83,600 73,150
MTDD12S90F5
Datasheet Download
22×12×5.12 90 5 0.06 700 0.36   110,000 104,500 88,000 77,000
MTDD12S600F80
Datasheet Download
46.8×12×12.6 600 80 0.13 300 6.75   126,500 120,175 101,200 88,550
MTDD16S750F90
Datasheet Download
52×16×14 750 90 0.12 230 8.0 Download 132,000 125,400 105,600 92,400
MTDD16S830F80
Datasheet Download
52×16×14 830 80 0.10 230 11.8   137,500 130,625 110,000 96,250
MTDD16S860F64
Datasheet Download
52×16×14 860 64 0.07 195 11.7   143,000 135,850 114,400 100,100

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTDD Series - 75Vタイプ

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTDD08S250F12
Datasheet Download
26×8×7 250 12 0.048 450 1.4   66,000 62,700 52,800 46,200

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTDD Series - Non Magnetic(非磁性タイプ)

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTDD16S860F64NM 52×16×14 860 64 0.07 195 11.7   154,000 146,300 123,200 107,800

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTDD Series - Non Magnetic & Vaccum Compatible(非磁性真空対応タイ プ)

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTDD10S580F80NM-PS
Datasheet Download
64×10×21.4 580 80 0.14 282 11.6   198,000 188,100 158,400 138,600

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTDD Series - With Linear Bush

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTDD23S150F800LB
Datasheet Download
90×54×27 150 800 5.33 1600 23.1   385,000 365,750 308,000 269,500

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

メカトランスMTDDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の占める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは伸びる方向に動作します。

MTDDシリーズの特長

  • 1mmに近い(750μm)大きな変位が出力可能。
  • 豊富なバリエーション/50μm~750μmまでの範囲で必要な出力を選択可能。
  • 形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
  • アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交
  • MTDシリーズとは発生変位の方向が反対

MTDDシリーズの動作原理

メカトランスMTDDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。

メカトランスMTDDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2 (電圧印加時)で示される様にアクチュエータの内側から外側へ広がる方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直交し、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。

図 1.圧電アクチュエータ駆動システム

図 2.圧電アクチュエータ原理図

メカトランスMTDDシリーズ応用例

アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。

  • 露光装置用精密ステージ
  • オートフォーカス機構
  • 精密ポンプ

取り扱い時の注意事項

圧電アクチュエータの御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。

  1. ヒステリシスがある
  2. DC印加+湿度環境を避ける
  3. 引っ張り力を加えないまたアームを強く押さない
  4. 直流電圧を直接かける場合にはご注意を
  5. 温度変化に伴いメカトランス先端が変動します
  6. 電圧極性は単一で
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