高速応答ピエゾアクチュエータ

メカトランスKKシリーズ

MTKKシリーズラインアップと価格

価格は税別です。発生変位は拘束時から無負荷時までの公称値です。

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTKK03S45F4 データシート →	15 x 3 x 4.8	45	4	0.09	5,100	0.03	STEP →	110,000	104,500	88,000	77,000
MTKK08S70F20 データシート →	14.7 x 8 x 4.5	70	20	0.29	6,500	0.40	STEP →	88,000	83,600	70,400	61,600
MTKK08S180F30 データシート →	28 x 8 x 8	180	30	0.17	3,000	0.87	STEP →	93,500	88,825	74,800	65,450
MTKK12S100F40 データシート →	24 x 12 x 7.13	100	40	0.40	6,600	1.40	STEP →	104,500	99,275	83,600	73,150
MTKK16S250F180 データシート →	40 x 16 x 11.8	250	180	0.72	2,200	5.20	―	154,000	146,300	123,200	107,800
MTKK12S400F140 データシート →	56 x 12 x 16	400	140	0.35	1,600	8.40	STEP →	132,000	125,400	105,600	92,400

MTKKシリーズ非磁性タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTKK08S180F30NM データシート →	28 x 8 x 8	180	30	0.17	3,000	0.87	―	104,500	99,275	83,600	73,150
MTKK16S250F180NM データシート →	36 x 16 x 11.8	250	180	0.72	1,900	5.20	―	154,000	146,300	123,200	107,800

MTKKシリーズ非磁性・真空対応タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTKK08S60F17NM-VC データシート →	14.7 x 8 x 4.5	60	17	0.28	7,400	0.15	―	132,000	125,400	105,600	92,400
MTKK12S200F55NMVC データシート →	56 x 12 x 16	200	55	0.28	1,500	1.28	―	308,000	292,600	246,400	215,600

MTKKシリーズ圧電素子交換タイプ

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTKK16S400F170R データシート →	72 x 21 x 15	400	170	0.43	1,200	12.5	STEP →	198,000	188,100	158,000	138,600
MTKK16S550F140R データシート →	72 x 21 x 15	550	140	0.25	970	12.5	―	198,000	188,100	158,000	138,600

MTKKシリーズ平行バネ付き

商品名	外形寸法 W×D×H [mm]	発生変位 [µm]	発生力 [N]	剛性 [N/µm]	自己共振周波数 [Hz]	静電容量 [µF]	CADデータ	1 pc	5+	25+	100+
MTKK05S300F80PS データシート →	58 x 5 x 25	300	80	0.27	1,500	3.22	―	121,000	114,950	96,800	84,700
MTKK10S300F120PS データシート →	84 x 10 x 36.8	300	138	0.46	1,170	12	―	269,500	256,025	215,600	188,650

商品概要

The KK-Series is our high speed MechaTrans®. It is stiffer than the DD-Series and the D-Series and has a higher resonance frequency, which gives it a shorter rise time.

Like the rest of the range it pairs a stacked piezoelectric actuator with a stroke magnification structure, though the magnification ratio here is smaller than on the DD-Series or D-Series. The body is flat and compact, and the output stroke is turned through 90 degrees relative to the stack's own direction. Applying a voltage makes the unit elongate, as figure 2 shows.

KKシリーズの動作を見る →

特長

高い自己共振周波数
高速リニア駆動
高い発生力
高速応答・短い立ち上がり時間
扁平・小型
圧電素子の変位方向を90度変換しています
図2のとおり、電圧を印加すると伸びます
出力方向はKシリーズと逆になります

動作原理

Tapped holes are provided on both sides of the unit. The piezoelectric actuator carries red and black, or white, lead wires. Figure 1 shows a typical connection between the driver and the actuator; depending on the drive conditions a series resistor may be needed. Applying a voltage makes the unit elongate as in figure 2.

図1　ピエゾアクチュエータの構成

図2　KKシリーズの動作原理

データシートダウンロード

応用例と注意事項

KKシリーズの用途

触覚デバイス
リソグラフィ装置の位置決めステージ
カメラのオートフォーカス機構
マスフローコントロール

KKシリーズを用いたピエゾステージの例です。

ご使用の前に取り扱いの注意をお読みください。

01ヒステリシス 02高湿度下での直流電圧の連続印加 03アクチュエータへの引張り、アームへの圧縮は避けてください 04直流電圧を瞬間的に重畳しないでください 05使用温度 06分極

ご希望の仕様が見つからない場合

必要な発生変位・発生力・取付寸法をお知らせいただければ、既存型番の仕様変更や新規設計を承ります。

お問い合わせ →

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