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扁平ピエゾアクチュエータ

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メカトランスDシリーズ

ラインアップと価格 商品概要 データシートダウンロード 応用例と注意事項

MTDシリーズ ラインアップと価格

価格は税別です。発生変位は拘束時から無負荷時までの公称値です。

商品名 外形寸法 W×D×H [mm] 発生変位 [µm] 発生力 [N] 剛性 [N/µm] 自己共振周波数 [Hz] 静電容量 [µF] CADデータ 1 pc 5+ 25+ 100+
MTD03S50F3
データシート →
15 x 3 x 5 50 3 0.06 2,000 0.03 STEP → 110,000 104,500 88,000 77,000
MTD08S250F27
データシート →
22 x 8 x 8 250 27 0.11 790 0.85 STEP → 93,500 88,825 74,800 65,450
MTD08S270F25
データシート →
22 x 8 x 8 270 25 0.09 650 0.85 ― 93,500 88,825 74,800 65,450
MTD08S300F25
データシート →
26 x 8 x 8 300 25 0.08 500 0.85 STEP → 99,000 94,050 79,200 69,300
MTD16S750F90
データシート →
52 x 16 x 16 750 90 0.12 290 8.5 STEP → 147,000 140,400 120,600 107,400
MTD16S750F120
データシート →
52 x 16 x 16 750 120 0.16 320 11.5 ― 152,500 150,000 125,000 111,250
MTD16S800F90
データシート →
52 x 16 x 16 800 90 0.11 280 3.2 ― 152,500 150,000 125,000 111,250
MTD16S830F100
データシート →
52 x 16 x 16 830 100 0.12 290 11.5 ― 152,500 150,000 125,000 111,250
MTD20S160F920
データシート →
21.1 x 37 x 90 160 920 5.75 850 25 STEP → 312,000 297,150 252,600 222,900

MTDシリーズ 真空対応タイプ

商品名 外形寸法 W×D×H [mm] 発生変位 [µm] 発生力 [N] 剛性 [N/µm] 自己共振周波数 [Hz] 静電容量 [µF] CADデータ 1 pc 5+ 25+ 100+
MTD08S200F17-VC
データシート →
22 x 8 x 8 200 17 0.085 700 0.32 ― 110,000 104,500 88,000 77,000

MTDシリーズ 75Vタイプ

商品名 外形寸法 W×D×H [mm] 発生変位 [µm] 発生力 [N] 剛性 [N/µm] 自己共振周波数 [Hz] 静電容量 [µF] CADデータ 1 pc 5+ 25+ 100+
MTD08S250F14
データシート →
26 x 8 x 8 250 14 0.056 500 1.4 ― 66,000 62,700 52,800 46,200

商品概要

The D-Series is a compact piezoelectric actuator that produces an output stroke more than ten times that of a multilayer stacked actuator on its own. It pairs a stacked actuator with a stroke magnification structure that overcomes the small displacement of the stack.

The body is flat and compact, so it uses space efficiently, and the output stroke is turned through 90 degrees relative to the stack's own direction. Applying a voltage makes the unit contract, as figure 2 shows.

Dシリーズの動作を見る →

特長

  • 大きな発生変位
  • 扁平・小型
  • 圧電素子の変位方向を90度変換しています
  • 図2のとおり、電圧を印加すると縮みます
  • 出力方向はDDシリーズと逆になります
MTD series

動作原理

Tapped holes are provided on both sides of the unit. The piezoelectric actuator carries red and black, or white, lead wires. Figure 1 shows a typical connection between the driver and the actuator; depending on the drive conditions a series resistor may be needed. Applying a voltage makes the unit contract as in figure 2.

Actuator system
図1 ピエゾアクチュエータの構成
Operating principle
図2 Dシリーズの動作原理

データシートダウンロード

MTD03S50F3PDF → MTD08S250F27PDF → MTD08S250F14PDF → MTD08S270F25PDF → MTD08S200F17-VCPDF → MTD08S300F25PDF → MTD16S750F90PDF → MTD16S750F120PDF → MTD16S800F90PDF → MTD16S830F100PDF → MTD20S160F920PDF →

応用例と注意事項

Dシリーズの用途

  • リソグラフィ装置の位置決めステージ
  • カメラのオートフォーカス機構
  • 精密ポンプ

ご使用の前に取り扱いの注意をお読みください。

01ヒステリシス 02高湿度下での直流電圧の連続印加 03アクチュエータへの引張り、アームへの圧縮は避けてください 04直流電圧を瞬間的に重畳しないでください 05使用温度 06分極

ご希望の仕様が見つからない場合

必要な発生変位・発生力・取付寸法をお知らせいただければ、既存型番の仕様変更や新規設計を承ります。

お問い合わせ →
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