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製品情報

メカトランスDシリーズ

メカトランスMTDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の占める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは縮む方向に動作します。

MTDシリーズの特長

  • 1mmに近い(750μm)大きな変位が出力可能。
  • 形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
  • アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交
  • 印加電圧の上昇と共に縮む
  • MTDDシリーズとは発生変位の方向が反対

MTDシリーズの動作原理

メカトランスMTDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。

メカトランスMTDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2(電圧印加時)で示される様にアクチュエータの外側から内側へ縮む方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直交し、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。

図 1.圧電アクチュエータ駆動システム

図 2.圧電アクチュエータ原理図

MTD Series

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTD03S50F3
Datasheet Download
15×3×5 50 3 0.06 2000 0.03 Download 110,000 104,500 88,000 77,000
MTD08S250F27
Datasheet Download
22×8×8 250 27 0.11 790 0.85 Download 93,500 88,825 74,800 65,450
MTD08S270F25
Datasheet Download
22×8×8 270 25 0.09 650 0.85 93,500 88,825 74,800 65,450
MTD08S300F25
Datasheet Download
26×8×8 300 25 0.08 500 0.85 Download 99,000 94,050 79,200 69,300
MTD16S750F90
Datasheet Download
52×16×16 750 90 0.12 290 8.5 Download 132,000 125,400 105,600 92,400
MTD16S750F120
Datasheet Download
52×16×16 750 120 0.16 320 11.5 137,500 130,625 110,000 96,250
MTD16S800F90
Datasheet Download
52×16×16 800 90 0.11 280 3.2 coming soon coming soon coming soon coming soon
MTD16S830F100
Datasheet Download
52×16×16 830 100 0.12 290 8.5   137,500 130,625 110,000 96,250
MTD20S160F920
Datasheet Download
21.1×37×90 160 920 5.75 850 25 Download 297,000 282,150 237,600 207,900

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

メカトランスMTDシリーズ応用例

アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。

  • 露光装置用精密ステージ
  • オートフォーカス機構
  • 精密ポンプ

取り扱い時の注意事項

圧電アクチュエータの御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。

  1. ヒステリシスがある
  2. DC印加+湿度環境を避ける
  3. 引っ張り力を加えないまたアームを強く押さない
  4. 直流電圧を直接かける場合にはご注意を
  5. 温度変化に伴いメカトランス先端が変動します
  6. 電圧極性は単一で
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