高剛性ピエゾアクチュエータ

High Stiffness Piezo Actuator

メカトランスPTKシリーズ

MTPTK Series

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTPTK03S5F50
Datasheet Download
3×8.6×22 5 50 10.0 30000 0.20 71,500 67,925 57,200 50,050
MTPTK03S28F150
Datasheet Download
14×3×52 28 150 5.3 3500
@負荷30g付
1.1 93,500 88,825 74,800 65,450
MTPTK05S45F1600
Datasheet Download
5×15.6×52 45 1600 35.6 2400
@負荷130g付
9.0 Download 132,000 125,400 105,600 92,400
MTPTK05S50F2000
Datasheet Download
5×15.6×52 50 2000 40.0 2100
@負荷130g付
11.0 Download 154,000 146,300 123,200 107,800
MTPTK10S50F3000
Datasheet Download
10×15.6×52 50 3000 60.0 2600
@負荷130g付
25.6 Download 176,000 167,200 140,800 123,200

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTPTK-SG Series(歪みゲージ付メカトランスMTPTK)

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTPTK05S50F2000SG
Datasheet Download
5x16x52 50 2000 40.0 2100
@負荷130g付
11.0   198,000 188,100 158,400 138,600

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTPTK-SI Series(シリコンコーティングMTPTK)

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTPTK10S50F2000-SI
Datasheet Download
10x12x52 50 2000 40.0 2800
@負荷130g付
11.0   154,000 146,300 123,200 107,800

*1 : ノミナル値   *2 : 片側固定

※ご注文の合計が10万円以下の場合、送料2000円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。

MTPTK-VC Series(真空環境対応タイプMTPTK)

商品名 外形寸法[mm]
W×D×H
発生変位
[μm]
発生力
[N]
剛性
[N/μm]
 自己共振
周波数
 [Hz]
静電容量
[μF]
CAD
データ
価格 [円](税込)
1pc 5pcs
以上
25pcs
以上
100pcs
以上
MTPTK10S75F2000-VC
Datasheet Download
10x12x92 75 2000 26.7 1800
@負荷130g付
7.5   330,000 313,500 264,000 231,000

MTPTKシリーズ ナノ位置決め用ピエゾアクチュエータ

  • 優れた寿命
  • ナノオーダの分解能
  • 高速応答(マイクロ秒オーダ)
  • クローズドループ制御対応
  • 最大発生力 50N~3000N
  • 最大発生ストローク 5~50μm

与圧機構型圧電アクチュエータは、フレーム(与圧ケース)の中に圧電素子を組み込んだフレーム一体型の圧電アクチュエータです。複数の標準品寸法の圧電素子から与圧ケースと組み合わせして、ご要望の発生力と発生変位のピエゾアクチュエータを作ることが可能です。

また、圧電素子の引張りに弱い性質与圧ケースが補完するので壊れにくい圧電アクチュエータです。

MTPTKシリーズの特長

圧電素子の寿命の向上

お使いの圧電素子はよく壊れませんか。実は圧電素子の引張り強度は発生力の1/10しかありません。圧電素子引張りにとても弱いのです。圧電素子を利用するときの鉄則は、必ず圧電素子を与圧状態で使用することです。弊社の与圧機構型圧電アクチュエータはフレーム(与圧ケース)が圧電素子に常に圧力をかける機構になっており、圧電素子の寿命を著しく向上いたします。

アクチュエータ・システムのロバスト化を実現

与圧機構型圧電アクチュエータは取付け・取外しが簡単であるため、圧電素子が壊れた場合、アクチュエータごと交換することが可能です。実験システムやジグを圧電素子に合わせて作り直す必要がなく、同型の与圧機構型圧電アクチュエータの予備をストックして頂ければ、迅速に交換することが可能です。また、圧電素子与圧ケースに組まれているので、取扱い上でのロバスト性向上に繋がり、不本意な動作または取り扱いをしても圧電素子が壊れにくくなっております。(できれば大事なものなので、慎重に取り扱って下さい。) 

発生変位や発生力を自在に作り出せる

市販されている圧電素子の寸法は決められており、種類も限られています。それ以外の特性をどうしても利用したいとき、圧電素子メーカ特注で製作してもらわなければなりません。
それはコストも時間もかかるだけでなく、時には必要なストロークのもの(例えば発生変位100μm)を製作できない場合があります。

与圧ケースを利用することで、必要な発生変位・発生力を持つアクチュエータを自前で製作することができます。それは与圧ケースで圧電素子を直列または並列にまとめることができるため、あたかもご要望の寸法の圧電素子を実現することができ、特注で製作するよりも、時間及びコストの低減に繋がります。例えば下記の寸法及び特性の積層圧電アクチュエータ圧電素子/ピエゾ)を実現することができます。

大変位与圧機構型メカトランス(PTK10S90)

圧電素子 圧電アクチュエータ ピエゾアクチュエータ 与圧概寸: 14 x 19 x 91mm
発生変位: 100μm (-20V~150V)

歪みゲージ付メカトランスMTPTK

下記の図に歪みゲージ付メカトランスMTPTKを示します。


ピエゾアクチュエータはヒステリシス(Hysteresis)を持つため、印加電圧と発生変位との関係は直線性(linearity)に欠けます。そのため、開ループでの位置決め用途では誤差が大きいので、精密な位置決めを実現できません。これを補うため、圧電素子の変位を計測し、フィードバックループを組むことによって、ヒステリシスによる位置決め誤差の問題を避けられ、精密な位置決めを実現することができます。その(精密な)位置決め精度はセンサーの検出可能分解能に依存するので、用途に応じてセンサーを選定する必要があります。弊社では、歪みゲージを位置決めセンサーに適用した新製品を開発致しました。下記の図は(用いた)フィードバックループを構成した、PID位置決め制御系の事例を示します。

フィードバックループの制御事例

フィードバックループの制御事例

フィードバックループ(PID)による制御結果

フィードバックループ(PID)による制御結果

MTPTK Series

MTPTK-SG Series(歪みゲージ付メカトランスMTPTK)

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