メカトランスDシリーズ
MTD Series
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTD03S50F3 Datasheet Download |
15×3×5 | 50 | 3 | 0.06 | 2000 | 0.03 |  |
110,000 | 104,500 | 88,000 | 77,000 |
| MTD08S250F27 Datasheet Download |
22×8×8 | 250 | 27 | 0.11 | 790 | 0.85 | |
93,500 | 88,825 | 74,800 | 65,450 |
| MTD08S270F25 Datasheet Download |
22×8×8 | 270 | 25 | 0.09 | 650 | 0.85 | 93,500 | 88,825 | 74,800 | 65,450 | |
| MTD08S300F25 Datasheet Download |
26×8×8 | 300 | 25 | 0.08 | 500 | 0.85 | |
99,000 | 94,050 | 79,200 | 69,300 |
| MTD16S750F90 Datasheet Download |
52×16×16 | 750 | 90 | 0.12 | 290 | 8.5 | |
132,000 | 125,400 | 105,600 | 92,400 |
| MTD16S750F120 Datasheet Download |
52×16×16 | 750 | 120 | 0.16 | 320 | 11.5 | 137,500 | 130,625 | 110,000 | 96,250 | |
| MTD16S800F90 Datasheet Download |
52×16×16 | 800 | 90 | 0.11 | 280 | 3.2 | 137,500 | 130,625 | 110,000 | 96,250 | |
| MTD16S830F100 Datasheet Download |
52×16×16 | 830 | 100 | 0.12 | 290 | 11.5 | 137,500 | 130,625 | 110,000 | 96,250 | |
| MTD20S160F920 Datasheet Download |
21.1×37×90 | 160 | 920 | 5.75 | 850 | 25 | |
297,000 | 282,150 | 237,600 | 207,900 |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTD Series - 真空環境対応タイプ
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTD08S200F17-VC Datasheet Download |
22×8×8 | 200 | 17 | 0.085 | 700 | 0.32 | 110,000 | 104,500 | 88,000 | 77,000 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
MTD Series - 75Vタイプ
| 商品名 | 外形寸法[mm] W×D×H |
発生変位 [μm] |
発生力 [N] |
剛性 [N/μm] |
自己共振 周波数 [Hz] |
静電容量 [μF] |
CAD ﾃﾞｰﾀ |
価格 [円]（税込） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1pc | 5pcs 以上 |
25pcs 以上 |
100pcs 以上 |
||||||||
| MTD08S250F14 Datasheet Download |
26×8×8 | 250 | 14 | 0.056 | 500 | 1.4 | 66,000 | 62,700 | 52,800 | 46,200 | |
*1 : ノミナル値 *2 : 片側固定
※ご注文の合計が１０万円以下の場合、送料２０００円を徴収させて頂きますのでご了承頂ければ幸甚です。
メカトランスMTDシリーズは、コンパクトサイズで大きな変位を発生できるピエゾアクチュエータです。圧電素子が発生する変位を10倍以上拡大し、アクチュエータの変位不足を解消することができます。また形状が扁平かつ薄型なため小スペースでの取り付けに有利です。変位拡大機構の占める無駄な空間を少なくし、空間利用効率が非常に高いです。発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交しているため、利用しやすい配置となっています。電圧を印加すると、このピエゾアクチュエータは縮む方向に動作します。
MTDシリーズの特長
- 1mmに近い（750μm）大きな変位が出力可能。
- 形状が扁平・薄型で装置の小型化に適している。
- アクチュエータの発生変位方向は圧電素子の変位方向と90度直交
- 印加電圧の上昇と共に縮む
- MTDDシリーズとは発生変位の方向が反対
MTDシリーズの動作原理
メカトランスMTDシリーズは変位拡大機構の中心に積層圧電アクチュエータ(圧電素子)を挿入するように取付け、圧電素子が発生する変位量を数倍から数十倍に拡大しています。変位拡大機構側には圧電アクチュエータを取り付ける固定ネジ用のネジ穴が設けられています。圧電素子側には圧電素子に電圧を印加するリード線があり、使用時は図1のように接続をします。
メカトランスMTDシリーズでは、圧電素子に電圧を印加すると図2(電圧印加時)で示される様にアクチュエータの外側から内側へ縮む方向に変位は出力されます。また、アクチュエータの変位方向は圧電素子の変位方向と直交し、発生変位・発生力の作用点はアクチュエータの中心にあります。
図 1．圧電アクチュエータ駆動システム
図 2．圧電アクチュエータ原理図
MTD Series
メカトランスMTDシリーズ応用例
アクチュエータの使用例としては以下のものがあります。
- 露光装置用精密ステージ
- オートフォーカス機構
- 精密ポンプ
取り扱い時の注意事項
圧電アクチュエータの御使用にあたりまして以下のような注意事項があります。